公开/公告号CN102005362B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-30
原文格式PDF
申请/专利权人 北京中科信电子装备有限公司;
申请/专利号CN200910090665.5
申请日2009-09-03
分类号H01L21/00(20060101);H01L21/66(20060101);C23C14/48(20060101);H01J37/317(20060101);
代理机构
代理人
地址 101111 北京市通州中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号北京中科信电子装备有限公司
入库时间 2022-08-23 09:09:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-05-30
授权
授权
2011-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20090903
实质审查的生效
2011-04-06
公开
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