X波段三位MEMS可调带通滤波器

摘要

X波段三位MEMS可调带通滤波器，属于电子科学技术领域，涉及MMIC和MEMS。包括两个输入或输出端口、两个匹配电容网络C_M和两个LC谐振器；整个滤波器相对于两个LC谐振器的耦合中心线呈镜面对称结构；LC谐振器由正方形微带开口环和嵌入到开口中的谐振电容网络C_L构成；电容网络采用RF-MEMS工艺实现，采用三个直流偏压控制的MEMS开关来改变电容网络三条支路的电容大小，进而实现滤波器中心工作频率的改变。本发明可实现8个可调中心频率点，具有插入损耗小、Q值大、结构紧凑体积小，而且下拉电压低的特点，可应用于各种X波段通信设备中。