公开/公告号CN101647107B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-13
原文格式PDF
申请/专利权人 飞兆半导体公司;
申请/专利号CN200780031915.7
申请日2007-07-26
分类号H01L21/331(20060101);H01L31/111(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人孟锐
地址 美国缅因州
入库时间 2022-08-23 09:09:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/331 变更前: 变更后: 申请日:20070726
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-06-13
授权
授权
2012-06-13
授权
授权
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/331 申请日:20070726
实质审查的生效
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/331 申请日:20070726
实质审查的生效
2010-02-10
公开
公开
2010-02-10
公开
公开
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