法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 26/02 授权公告日:20120509 终止日期:20151113 申请日:20091113
专利权的终止
2012-05-09
授权
授权
2010-10-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 26/02 申请日:20091113
实质审查的生效
2010-09-01
公开
公开
机译: 在一个或多个表面上利用氧化锌纳米棒阵列的发光二极管结构,以及生产这种氧化锌纳米棒阵列的低成本方法
机译: 在一个或多个表面上利用氧化锌纳米棒阵列的发光二极管结构,以及生产这种氧化锌纳米棒阵列的低成本方法
机译: 氧化锌纳米棒阵列和纳米棒阵列的制造方法,半导体器件使用相同的