一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统

摘要

一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统，由激光源、五面偏振分光棱镜、四分之一波片b、四分之一波片c、角隅棱镜、参考镜、测量镜、起偏器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在五面偏振分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，分别被参考镜和测量镜反射两次，由五面偏振分光棱镜出射；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的测量镜的线位移。本发明的优点是：结构简单、成本较低、光程死区小、测量精度高，可广泛用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。