法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B17/06 授权公告日:20120523 终止日期:20190312 申请日:20010312
专利权的终止
2017-06-13
专利权的转移 IPC(主分类):G02B17/06 登记生效日:20170525 变更前: 变更后: 申请日:20010312
专利申请权、专利权的转移
2017-06-13
专利权的转移 IPC(主分类):G02B 17/06 登记生效日:20170525 变更前: 变更后: 申请日:20010312
专利申请权、专利权的转移
2012-05-23
授权
授权
2012-05-23
授权
授权
2009-09-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-29
公开
公开
2009-07-29
公开
公开
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机译: 用于微光刻投影曝光系统的照明装置,包括带有两个光栅装置的二维光分布装置,用于接收来自主光源和副光源的光
机译: 使用高架投影仪对图片进行立体投影-具有投影聚光镜,可在通过图片之前将来自光源的光分开
机译: 用于投影系统的场照明装置具有包围光源的抛物面反射器和沿着公共光轴放置的对向反射器,其主要焦点位于抛物面反射器的次要焦点上