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传送盒接口和包含传送盒接口的分析设备

摘要

本发明涉及一种传送盒(1)接口(6),包括将要连接到气体分析器的取样探头(15)以及致动器(7),所述致动器在耦合位置耦合到为所述传送盒(1)提供入口的门(5),并在收回位置可以将所述门(5)移向所述接口(6)的基底(14),其中在收回位置所述取样探头(15)可以探及包含在所述传送盒(1)内的有待分析的气体体积。本发明的特征在于所述接口包括至少一个密封(31),其被配置为至少在所述收回位置提供所述致动器(7)与所述基底(14)之间的密封,以便隔离有待分析的气体体积。

著录项

  • 公开/公告号CN101681865B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-04-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 阿尔卡特朗讯公司;

    申请/专利号CN200880018676.6

  • 发明设计人 E·戈多;

    申请日2008-04-21

  • 分类号

  • 代理机构北京市中咨律师事务所;

  • 代理人杨晓光

  • 地址 法国巴黎

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-11

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 授权公告日:20120411 终止日期:20130421 申请日:20080421

    专利权的终止

  • 2012-04-11

    授权

    授权

  • 2010-05-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20080421

    实质审查的生效

  • 2010-03-24

    公开

    公开

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