法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 授权公告日:20120411 终止日期:20130421 申请日:20080421
专利权的终止
2012-04-11
授权
授权
2010-05-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20080421
实质审查的生效
2010-03-24
公开
公开
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