在微环境晶片传送盒和设备零件之间的真空接口

摘要

在本发明的装置中，由于通过插入的接口周边衬垫(16)提供密封以防漏的方式将传送盒(1)与处理设备(9)的制品通过口(11)连接。传送盒门(4)可被选择性地固定在接口门(12)上，从而它们可以在来自门致动器部件(14)的驱动下在横向行程以及随后的横向行程作为一个整体一起运动。传送盒(1)由保持部件(15)保持。可以通过泵(22)和管道(23)抽吸围绕这两个门的周边体积(21)。可以通过确保良好密封的锁紧部件(20)将传送盒门(4)锁定在传送盒(1)上，同时传送盒(1)与处理设备(9)分开。这确保了传送盒(1)的良好密封，并且能够在真空下打开这些门(4，12)，而不会污染内部大气。