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折射率分布测量方法和折射率分布测量设备

摘要

一种折射率分布测量方法和折射率分布测量设备。所述方法包括下述步骤:通过将参考光引入被浸入到具有第一折射率的第一介质中的检测对象来测量检测对象的第一透射波前,所述第一折射率比检测对象的折射率低0.01或更多;通过将参考光引入被浸入到具有第二折射率的第二介质中的检测对象来测量检测对象的第二透射波前,所述第二折射率比检测对象的折射率低0.01或更多并且与第一折射率不同;以及基于第一透射波前的测量结果和第二透射波前的测量结果来获得检测对象的折射率分布。

著录项

  • 公开/公告号CN101762376B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-04-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN200910262248.4

  • 发明设计人 加藤正磨;

    申请日2009-12-22

  • 分类号G01M11/02(20060101);

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人杜娟

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-04-04

    授权

    授权

  • 2010-08-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20091222

    实质审查的生效

  • 2010-06-30

    公开

    公开

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