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折射率分布测量方法和折射率分布测量设备

摘要

本发明涉及折射率分布测量方法和折射率分布测量设备以及制造光学元件的方法。该折射率分布测量方法包括如下步骤:测量具有第一折射率的第一介质中的第一透射波前和具有不同于第一折射率的第二折射率的第二介质中的第二透射波前,以及通过利用第一透射波前和第二透射波前的测量结果以及基准被检物的每个透射波前移除被检物的形状分量,获得多个取向中的每一个取向中的被检物的折射率分布投影值,该基准被检物具有与被检物相同的形状以及具有特定的折射率分布,并且以与被检物的取向相同的取向位于第一介质和第二介质中的一个中,以及基于与该多个取向对应的多个折射率分布投影值计算被检物的三维折射率分布。

著录项

  • 公开/公告号CN102297758B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-04-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN201110132234.8

  • 发明设计人 加藤正磨;

    申请日2011-05-20

  • 分类号

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人魏小薇

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:18:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-04-09

    授权

    授权

  • 2012-02-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20110520

    实质审查的生效

  • 2011-12-28

    公开

    公开

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