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公开/公告号CN102201648B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201110093303.9
发明设计人 郑婉华;周文君;陈微;刘安金;王海玲;
申请日2011-04-14
分类号H01S5/18(20060101);H01S5/22(20060101);H01S5/042(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:09:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-05-02
授权
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/18 申请日:20110414
实质审查的生效
2011-09-28
公开
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