矩形基座的不对称接地

摘要

本发明提供了在等离子体处理腔室(40)使用的接地基座(72)，其用于在支撑在该基座上并通过该基座接地的大矩形面板(74)上进行化学气相沉积。多个接地片(86)连接在基座的外围和接地真空腔室之间以缩短RF电子的接地路径。柔性片允许基座垂直移动。所述片提供围绕所述外围不对称的接地电导。所述片可均匀隔开但具有不同厚度或不同形状或从可用的接地点移除，由此提供不同RF电导。选择该不对称以改善沉积均匀性和PECVD所沉积膜的其他质量。