基于二维细分法的微小光斑强度分布测量方法

摘要

基于二维细分法的微小光斑强度分布测量方法，它涉及一种微小光斑强度分布的测量方法，它解决了目前无法对能量分布不均匀或者尺寸很小的光斑进行强度分布测量的问题。该测量方法将入射光斑完全照射到CCD探测器的光敏探测面的一个像元内，通过蛇形扫描的方式，记录各个扫描状态的灰度图像，通过计算可最终获得入射光光斑的强度分布。本发明能够对能量分布不均匀或者尺寸很小的光斑的强度分布进行直接测量，适用于微小光斑测量领域。