用于补偿生产微型机械元件的偏差的方法及其应用

摘要

本发明涉及补偿在生产微型机械元件时由于生产条件限制所出现的偏差的方法以及使用该方法，这种微型机械元件会在共振频率下偏转。本发明的任务是能够简单和价格适宜地补偿由于生产条件限制所出现的、会影响微型机械元件共振频率的偏差。根据本发明建议，利用干刻蚀方法在偏转元件上同时形成附加沟槽和/或凹陷以及沟槽，利用这种干刻蚀方法至少形成一个弹簧件、一个偏转元件和微型机械元件的一个框架件。这样就可以在一个批次中、在相同的处理参数条件下在单个微型机械元件或所有微型机械元件上形成沟槽和凹陷。在相同的刻蚀条件下，在刻蚀，尤其是干刻蚀中去除掉的材料会以相同的方式由刻蚀过程参数来对在沟槽和/或凹陷处去除掉的质量产生影响。