公开/公告号CN102051591B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国船舶重工集团公司第七二五研究所;
申请/专利号CN201010531294.2
申请日2010-10-23
分类号
代理机构青岛高晓专利事务所;
代理人张世功
地址 266061 山东省青岛市崂山区株洲路149-1号
入库时间 2022-08-23 09:09:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-21
授权
授权
2011-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/00 申请日:20101023
实质审查的生效
2011-05-11
公开
公开
机译: 用于制造气相沉积掩模的金属板,一种制造金属板的方法,气相沉积掩模,用于制造气相沉积掩模的方法,以及包括气相沉积掩模的气相沉积掩模装置。
机译: 用于气相沉积掩模的基材,一种用于制造用于气相沉积掩模的基材的方法,一种用于制造气相沉积掩模的方法,以及用于制造显示装置的方法。
机译: 一种防止金属气相沉积下降的方法,并抑制由湿气在由多层膜制成的浮体和膨胀体中的表面导电性,该多层膜已在其上进行了金属气相沉积。