法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/28 授权公告日:20120229 终止日期:20140902 申请日:20100902
专利权的终止
2012-02-29
授权
授权
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20100902
实质审查的生效
2010-12-22
公开
公开
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