具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计

摘要

本发明公开一种具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计，其两个照明系统和两个光收集系统分别对称地置于样品台的两侧；光源发射的光线依次经由其中一个照明系统的反射棱镜的一个反射面、第一凹面镜、反射棱镜的另一个反射面反射后由分束镜透射到置于样品台的样品上，分别形成透射光和反射光；样品的反射光返回该照明系统的分束镜上，光线由该分束镜反射后由其中一个光收集系统的第一反射镜接收并依次由第二凹面镜、第二反射镜反射到单色仪中，后进入光电系统；另一个照明系统的分束镜接收样品的透射光并反射到另一个光收集系统的第一反射镜后再依次由第二凹面镜、第二反射镜反射到单色仪，后进入光电系统。本发明可消去光学系统的不对称误差。