用于校正坐标测量装置的测量值的方法以及坐标测量装置

摘要

使用一种方法来校正坐标测量装置的测量值，该坐标测量装置具有探头(6)、校准体、以及用于基于所述坐标测量装置的元件的预定变形参数来记录和校正由所述探头(6)记录的测量值(x_i，y_i，z_i)的设备(10，30)。所述方法包括以下步骤：a)确定在所述校准体的表面(26)上的预定点(28)处的机械顺从性；b)以数据记录(N)的形式在所述设备中存储所确定的顺从性；c)使用所述探头(6)逐点扫描所述校准体；以及d)通过使用所述数据记录(N)校正在步骤c)中确定的所述探头(6)的测量值，校准所述探头(6)。类似地，还可将该方法用于具有已知的顺从性的工件。还提出了适于执行这些方法的坐标测量装置。