形状评价方法、形状评价装置及三维检查装置

摘要

本发明能够与光源和拍摄装置对于检查对象物的相对位置无关地适当地评价对象物的表面形状。包括如下步骤：识别评价对象物的表面形状的形状识别步骤；从所识别的评价对象物的表面形状上抽出代表点的代表点抽出步骤；确定以抽出的代表点为中心的预定范围的形状的形状确定步骤；对于上述各代表点，根据与照射光的光源的相对位置定义光源方向矢量的矢量定义步骤；以及从所述各代表点中，仅选择从确定为视认方向的方向上看，与根据与光源位置的相对位置来定义的光源方向矢量对应的反射矢量包含在预定范围内的代表点的代表点选择步骤；将所选择的各代表点的集合作为高亮点群，根据该高亮点群作成在检查对象物的表面上假想地产生的高亮线的高亮线作成步骤。根据作成的高亮线进行评价对象物表面形状的评价。