公开/公告号CN107209011B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 国立大学法人神户大学;株式会社牧野铣床制作所;
申请/专利号CN201680008499.8
申请日2016-02-02
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人曾祥录
地址 日本兵库县
入库时间 2022-08-23 10:36:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
授权
授权
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/30 申请日:20160202
实质审查的生效
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/30 申请日:20160202
实质审查的生效
2017-09-26
公开
公开
2017-09-26
公开
公开
2017-09-26
公开
公开
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机译: 图案形状评价方法,图案形状评价装置,图案形状评价数据生成装置以及使用该方法的半导体形状评价系统
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