公开/公告号CN101849031B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 独立行政法人产业技术综合研究所;
申请/专利号CN200880108778.7
申请日2008-07-23
分类号C23C8/28(20060101);C23C22/07(20060101);
代理机构11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:08:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-02-08
授权
授权
2010-11-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 8/28 申请日:20080723
实质审查的生效
2010-09-29
公开
公开
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