一种基于偏振相移显微干涉术的超精表面测量系统

摘要

本发明的一种基于偏振相移显微干涉术的测量系统，属于光学精密测量技术领域。该系统该系统包括光源(1)、准直镜(2)、线偏振器(3)、消偏振分光棱镜(4)、显微镜(5)、偏振分光棱镜(6)、参考平面镜(8)、1/4波片(9)、检偏器(10)、成像设备(11)和数据处理系统(12)，结合了偏振相移技术与Michelson干涉显微术，克服了普通相移显微干涉系统中的PZT移相方法存在的一系列问题，具有结构简单、移相简单且精确、测量精度高、测量速度快等特点。