一种核磁共振波谱检测平面微线圈及其制作方法

摘要

一种核磁共振检测平面微线圈及其制作方法，平面微线圈(1)为螺旋形，位于绝缘衬底(2)上表面，用铜制作。绝缘衬底(2)材料为玻璃或聚合物。平面微线圈(1)带有内侧和外侧两个端部焊盘(4、5)，平面微线圈(1)与相应的两个端部焊盘(4、5)为一体，一次铜微电镀成形。焊盘(4、5)厚度与平面微线圈(1)的厚度相同。平面微线圈(1)制作方法包括光刻胶掩模工艺与铜微电镀工艺，掩模光刻工艺用于制作微电镀时所用掩模，铜微电镀工艺用于在光刻胶掩模中制作微米级结构精度的平面微线圈。本发明平面微线圈可以用于核磁共振纳升级样品成分与分子结构分析，也可用于核磁共振微成像，如对单一细胞进行观察。