基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法

摘要

本发明公开一种基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法，其包括以下步骤：在衬底上先镀上一铝层；在铝层表面均匀涂敷一微球结构层，并在微球表面蒸镀耐蚀性金属，蒸镀的耐蚀性金属将通过微球结构层间隙沉积在铝层表面，再将微球结构层去除；用稀酸进行腐蚀，在铝层上所蒸镀的金属之间形成凹坑，完成预成型的过程；利用浓酸将铝层上的耐蚀性金属去除；对铝层进行阳极氧化，形成具有预设孔洞结构图形的氧化铝层；利用氧化铝层作为掩模，通过刻蚀将氧化铝层上的孔洞结构图形转移到衬底上；去除氧化铝层，得到亚微米图形的衬底。本发明具有操作简单、快速、成本较低、孔径可控的优点。