光测量装置和扫描光学系统

摘要

本发明披露了一种光测量装置和扫描光学系统，光测量装置可以有效取入来自平面光源的不同部分的光以执行测量。用于测量来自平面光源的光的光测量装置包括被配置为执行用于连续取入来自平面光源的不同部分的光的操作的空间分割装置。光学聚集装置聚集通过空间分割装置的操作取入的来自平面光源的不同部分的光。检测器接收由光学聚集装置聚集的光并输出对应于所接收光的信号。