一种瞬态光栅衰减动力学的瞬态饱和吸收光谱测试方法

摘要

一种瞬态光栅衰减动力学的瞬态饱和吸收光谱测试方法，代替传统的瞬态光栅衰减动力学的衍射测试方法，能极大地提高测试灵敏度和信噪比，并能同时测量两个输运参数：扩散系数和迁移率，在半导体动态输运光学测试领域具有应用价值。其特点是在瞬态光栅后设置一个与其周期和光栅条纹取向均一致的黑/白透射光栅，并与其尽量贴近。时间延迟探测光透过瞬态光栅和黑/白透射光栅，只有与黑/白光栅中白缝对应的部分探测光射出，实现了对瞬态光栅的局部周期采样。透射探测光的瞬态功率变化的时间延迟扫描曲线反映了瞬态光栅的衰减动力学。使用不同偏振态的探测光，能测试瞬态电子浓度光栅、瞬态电子自旋光栅和瞬态电子自旋浓度光栅的衰减动力学。