光掩膜的检查装置、检查方法、制造方法和图案转印方法

摘要

本发明的光掩膜的检查装置中，保持光掩膜(3)，将来自光源(1)的规定波长的光束介由照明光学系统(2)照射到光掩膜(3)，并介由物镜系统(4)且由摄像元件(5)摄像光掩膜(3)的像。从光源(1)发出的光束至少包含g线、h线或i线之一，或者包含它们任意二者以上混合后的光束，介由波长选择滤波器(6)而照射到光掩膜(3)上。