公开/公告号CN101210932B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200610148090.4
发明设计人 田明静;
申请日2006-12-27
分类号G01N35/00(20060101);H01L21/66(20060101);G01R31/28(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:07:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 35/00 授权公告日:20110713 终止日期:20181227 申请日:20061227
专利权的终止
2011-07-13
授权
授权
2011-07-13
授权
授权
2008-08-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-08-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-07-02
公开
公开
2008-07-02
公开
公开
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