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用于在真空中对表面进行等离子体处理的方法及装置

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摘要

为了实现具有从真空处理过程中得到的处理结果的预定两维表面分布的基片表面，产生不均匀密度分布的等离子体(5)，并且相对基片(9)以预定移动来使其移动，提供等离子体放电的电功率随时间变化。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-03-20

专利权的转移 IPC(主分类):H01J37/34 登记生效日:20200303 变更前: 变更后: 申请日:20031113

专利申请权、专利权的转移
2020-03-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J37/34 变更前: 变更后: 申请日:20031113

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-08-13

专利权的转移 IPC(主分类):H01J37/34 变更前: 变更后: 登记生效日:20140724 申请日:20031113

专利申请权、专利权的转移
2014-08-13

专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/34 变更前: 变更后: 登记生效日:20140724 申请日:20031113

专利申请权、专利权的转移
2011-08-31

授权

授权
2011-08-31

授权

授权
2006-05-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-05-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-03-08

公开

公开
2006-03-08

公开

公开

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1. 用于在真空中对表面进行等离子体处理的方法及装置 [P] . 中国专利： CN1745453B . 2011.08.31
2. 用于介电阻挡地进行等离子体处理的电极装置和用于对表面进行等离子体处理的方法 [P] . 中国专利： CN102711909B . 2015.09.16
3. Device for electric arc treatment i.e. electric arc plasma cleaning, of surface of metal product in vacuum in e.g. iron industry, has electrode arranged at distance from product surface, where distance lies in range within free path length [P] . 德国专利： DE102009052436A1 . 2011-05-12

机译：用于在真空中例如在真空中对金属产品的表面进行电弧处理的装置，即电弧等离子体清洁。钢铁工业中，电极与产品表面的距离一定，距离在自由行程长度范围内
4. Method for the treatment of surfaces with plasma in a vacuum and unit for the same [P] . AU2003277791A8 . 2004-06-23

机译：在真空中用等离子体处理表面的方法及其装置
5. Method and apparatus for warmth treatment of flowable material in the vacuum or not, in particular for warmth treatment of bread grain prior to milling [P] . 德国专利： DE821582C . 1953-02-16

机译：用于在真空中或非真空中加热处理可流动物料的方法和设备，特别是用于在碾磨之前对面包谷物进行加热处理的方法和装置