公开/公告号CN1639643B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN03805514.7
申请日2003-03-07
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 09:07:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20110803 终止日期:20180307 申请日:20030307
专利权的终止
2011-08-03
授权
授权
2011-08-03
授权
授权
2005-09-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-13
公开
公开
2005-07-13
公开
公开
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机译: 一种用于防止光学元件上的污染的方法,一种用于调节光学元件上的污染的装置以及euv光刻装置-
机译: 用于防止和清洁光学元件上的污染的装置,EUV光刻装置和方法
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