静电驱动的光波导和F-P腔可调谐光滤波器及制备方法

摘要

本发明提供了一种基于SOI光波导和F-P腔的静电梳状电极驱动的可调谐光滤波器及其制备方法。利用梳状电极带动两个对称的DBR移动，通过调整F-P腔的等效腔长实现可调谐滤波功能。该结构的可调谐滤波器具有调谐范围宽、调谐精度高、调谐速度快、结构紧凑新颖、便于和其它光学、电学元件集成的优点。采用两个DBR同时移动的对称调谐方式，可以增加波长调谐范围。充分利用(110)硅片的结晶学特征，通过感应耦合等离子体刻蚀工艺和各向异性湿法腐蚀工艺相结合的方法，制作DBR和F-P腔，DBR和F-P的表面为硅晶体的{111}面，使DBR镜面垂直且表面光滑，增加DBR的反射率，提高滤波器的性能。