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具有电子发射体的准分子激光器

摘要

本文描述用于准分子激光器的设备、系统和方法,所述准分子激光器具有激光气体和在施加发射电压时发射电子的电子发射体。

著录项

  • 公开/公告号CN101133528B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-06-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN200680006520.7

  • 发明设计人 M·斯金纳;M·诺伊斯塔德特;

    申请日2006-01-05

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人曾祥夌

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:07:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-25

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 3/038 授权公告日:20110608 终止日期:20180105 申请日:20060105

    专利权的终止

  • 2011-06-08

    授权

    授权

  • 2011-06-08

    授权

    授权

  • 2008-04-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-04-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-27

    公开

    公开

  • 2008-02-27

    公开

    公开

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