公开/公告号CN101126897B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN200710121242.6
申请日2007-08-31
分类号G03F7/00(20060101);G03F1/00(20060101);G03F7/20(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人贾玉忠;卢纪
地址 610209 四川省双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:07:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-10-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 授权公告日:20110629 终止日期:20150831 申请日:20070831
专利权的终止
2011-06-29
授权
授权
2008-11-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-20
公开
公开
机译: 微结构阵列及其制造方法,用于形成微结构阵列的模具和微透镜阵列
机译: 微结构阵列及其制造方法,用于形成微结构阵列的模具和微透镜阵列
机译: 微结构阵列及其制造方法,用于形成微结构阵列的模具和微透镜阵列