热处理装置

摘要

本发明提供热处理装置，在进行无载置方式的热处理时，能以廉价成本提早且确实地检测在炉内发生的被处理物破裂。使沿搬送路径配置在搬送滚柱(2)的下方的多个耐热玻璃(32)的一部分露出炉外作为露出部(5)，并配置振动传感器(4)于该露出部(5)。根据振动传感器(4)的检测信号，检测被搬送物的一部分因破裂的发生而往耐热玻璃(32)上落下。此时，停止搬送滚柱(2)旋转。