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检测样品与参照物的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法

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本发明涉及一种检测样品P和参照物R的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法，其特征在于进行如下步骤：(i)提供样品P，(ii)提供参考样品R，(iii)提供二维参考场RF，(iv)从所述参考样品R和参考场RF的区域形成第一二维图形，并且从所述样品P和参考场RF的区域形成第二二维图形，所述第一和第二图形以位置相关和波长相关的图形函数M(x，y，λ)描述，(v)在可自由选择的时间t

著录项

公开/公告号CN101107509B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-18

原文格式PDF
申请/专利权人巴斯福股份公司;
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申请/专利号CN200580047096.6
发明设计人 R·森斯;E·蒂尔;
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申请日2005-12-21
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人杨晓光
地址德国路德维希港
入库时间 2022-08-23 09:06:47

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-02-08

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 17/00 授权公告日:20110518 终止日期:20151221 申请日:20051221

专利权的终止
2011-05-18

授权

授权
2008-03-05

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-01-16

公开

公开

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