一种有效的静电放电保护电路

摘要

静电放电ESD(ElectrostaticDischarge)是当今集成电路中最重要的可靠性问题之一。随着集成电路制造技术的发展，特征尺寸的不断缩小，抗静电的能力越来越弱，但在微电子制造和使用的环境中，器件遭受ESD的机会却越来越多，这使得ESD对集成电路的影响也越来越大，ESD损伤成为新工艺上关注的焦点。本发明正是从这一基本出发点开始，打破传统的简单的ESD保护电路的局限，既从结构上对ESD保护电路进行改进，而且从版图布局、设计规则上加以考虑，但工艺制作流程却又同常规的BICMOS工艺基本一致，这样既能保证集成电路有较好的ESD保护能力，又不至于使工艺复杂化，这样既提高了电路的可靠性能，而又不会增加成本，提高了电路的竞争力。