用于在有图案基底上取向生长纳米线的方法

摘要

本发明涉及用于纳米线生长和获取的系统和方法。在一个实施方案中，提供用于纳米线生长和掺杂的方法，包括使用硅前体的组合以及使用有图案基底以生长取向纳米线，从而进行外延取向纳米线生长的方法。摘要附图显示了根据本发明的一个实施方案，使用形成图案的基底的取向纳米线生长的图。在本发明的其它方面，提供通过使用牺牲生长层而提高纳米线质量的方法。在本发明的另外方面，提供将纳米线从一个基底转移到另一个基底上的方法。