确定阈值电压变化的阵列表征电路、系统和方法

摘要

一种用于确定阈值电压变化的表征阵列和方法，快速地提供用于处理验证和改进的精确阈值电压分布值。该表征阵列包括用于在该阵列内的个别的设备施加固定的漏极-源极电压和恒定沟道电流的电路。在该阵列内还包括用于感测个别的设备的源极电压的电路。通过把每个源极电压偏移通过完全地描述在该阵列内的一个或多个设备的特性所确定的值，来从该源极电压分布中直接地确定该阈值电压的统计分布。作为结果的方法避免了另外描述在该阵列内的每个设备的特性的需要，因此显著地减少测量时间。