法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/82 授权公告日:20110413 终止日期:20180329 申请日:20070329
专利权的终止
2011-04-13
授权
授权
2011-04-13
授权
授权
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/82 申请日:20070329
实质审查的生效
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/82 申请日:20070329
实质审查的生效
2010-02-10
公开
公开
2010-02-10
公开
公开
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机译: 电容器单元,集成电路,集成电路设计方法和集成电路制造方法
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