制备金属氧化物薄膜、电容器、氢分离膜-电解质膜组合件和燃料电池的方法

摘要

一种制备金属氧化物薄膜(70)的方法，所述方法包括电镀步骤，在该步骤中使用含二甲基亚砜和卤素的基于甲基酮的有机溶液(20)作为电镀溶液。将该具有腐蚀性的有机溶液作为所述电镀溶液，能够形成非水溶性的金属氧化物薄膜。此外，由于所述有机溶液中含有卤素和二甲基亚砜，因此所形成的金属氧化物薄膜具有高厚度均匀性和高致密性。