公开/公告号CN1912646B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200610030766.X
申请日2006-09-01
分类号G01R33/02(20060101);G01R33/032(20060101);G03F7/00(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:06:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-11
授权
授权
2007-04-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-14
公开
公开
机译: 1-芯片型MEMS麦克风的制作方法及1-芯片型MEMS麦克风的制作方法
机译: MEMS振幅调制器和包括其的MEMS磁场传感器
机译: MEM幅度调制器和包括其的MEM磁场传感器