图案形成装置及图案形成方法、移动体驱动系统及移动体驱动方法、曝光装置及曝光方法、以及组件制造方法

摘要

空间像测量装置，其一部分设于晶圆载台(WST)，且剩下的一部分设于测量载台(MST)，用以测量透过投影光学系统(PL)而形成的标记的空间像。因此，可在通过空间像测量装置来测量投影光学系统(PL)的最佳聚焦位置时，将设有空间像测量装置一部分的晶圆载台在与投影光学系统的光轴(AX)平行的方向的位置，当作其最佳聚焦位置的基准来进行测量。因此，在以照明光(IL)使物体(W)曝光时，根据该最佳聚焦位置的测量结果，以高精度调整晶圆载台(WST)在与光轴(AX)平行的方向的位置。