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层间绝缘膜用感光性树脂组合物及层间绝缘膜的形成方法

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本发明提供能够形成高析像度的图案的层间绝缘膜用感光性树脂组合物。所述层间绝缘膜用感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂成分(A)和感光剂(B)，所述碱可溶性树脂成分(A)含有具有下述通式(a-1)所示的结构单元(a1)和具有交联性基团的结构单元(a2)的共聚物(A1)。下述通式中，R

著录项

公开/公告号CN101122740B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-03-02

原文格式PDF
申请/专利权人东京应化工业株式会社;
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申请/专利号CN200710140222.3
发明设计人宫城贤;杉本安章;馆野功;中绪卓;
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申请日2007-08-03
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人杨宏军
地址日本神奈川县
入库时间 2022-08-23 09:06:17

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-03-02

授权

授权
2008-04-09

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-02-13

公开

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