一种多灵敏度制栅云纹干涉仪

摘要

一种多灵敏度制栅云纹干涉仪，属于光测力学、变形检测技术领域。本发明由激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置五大部分组成。集光栅制作与变形测量为一体，可制作可转移光栅模板，也可在试样表面制作零厚度试件栅，通过四光束云纹干涉光路可实现实时变形测量，且光栅频率和测量灵敏度均可按需要调节。光路系统采用光纤技术以消除散斑噪声对光栅、图形质量的影响，位移测量灵敏度达波长量级。此外，本发明还具有结构紧凑、使用方便、光路原理简单、可制作单向栅或正交栅、制作的光栅不易被污染、可对试件实现六个自由度的调节等优点。