公开/公告号CN101614668B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院理化技术研究所;
申请/专利号CN200910089511.4
申请日2009-07-22
分类号G01N21/65(20060101);B82B3/00(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人李柏
地址 100190 北京市海淀区中关村北一条2号
入库时间 2022-08-23 09:06:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-12
授权
授权
2010-02-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-30
公开
公开
机译: 基于硅纳米线的隧道场效应晶体管
机译: 基于湿法刻蚀的硅纳米线场效应晶体管的制造方法
机译: 基于湿法刻蚀的硅纳米线场效应晶体管的制造方法