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陀螺仪传感器和使用该陀螺仪传感器的传感器装置

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主基板(1)配置有：从动质量体(11)，该从动质量体(11)以沿与支撑基板(2)的表面相交的方向振动的方式被驱动；和探测质量体(12)，该探测质量体(12)通过驱动弹簧(13)与从动质量体(11)联接，并且适合在沿支撑基板(2)的平面中位移。沿从动质量体(11)和探测质量体(12)的布置方向延伸的两个探测弹簧(15)分别被连接到探测质量体(12)的相对侧；并且探测弹簧(15)的其它端通过联接部分(16)被连接在一起。

著录项

公开/公告号CN1954188B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-02-09

原文格式PDF
申请/专利权人松下电工株式会社;
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申请/专利号CN200580006859.2
发明设计人辻幸司;江田和夫;桐原昌男;西岛洋一;兵头聪;
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申请日2005-03-14
分类号G01C19/56(20060101);G01P9/04(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人朱进桂
地址日本国大阪府
入库时间 2022-08-23 09:06:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-05-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C 19/56 授权公告日:20110209 终止日期:20130314 申请日:20050314

专利权的终止
2011-02-09

授权

授权
2007-06-27

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-04-25

公开

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