突起高度的测量方法以及突起高度的测量装置和程序

摘要

本发明的目的在于提供一种能够精确地测量突起高度的突起高度的测量方法以及测量装置。该突起高度的测量方法，其特征在于，包括：摄像工序，从仰角方向拍摄包含作为测量对象的突起的工件表面上的区域；突起区域抽取工序，基于通过摄像工序拍摄的图像中的亮度值，通过将图像中的区域分为亮部区域、暗部区域以及中间部区域，并将由亮部区域和暗部区域构成的区域作为对应于突起的突起区域，将由中间部区域构成的区域作为对应于工件的工件区域，由此从图像中抽取出突起区域；直径母线测量工序，对与通过突起区域抽取工序抽取出的突起区域的底面直径部分相对应的直径对应部的长度，和与突起区域的母线部分相对应的母线对应部的长度进行测量；高度运算工序，基于直径对应部的长度、母线对应部的长度和仰角来计算突起的高度。