用于表面分析的光谱仪及表面分析方法

摘要

本发明提供了一种用于表面分析的光谱仪(10)及表面分析方法。光谱仪(10)提供试样观察和与试样表面大体正交的二次带电粒子收集。收集腔室(22)包括：二次带电粒子透镜装置(20)，其用于使发出的粒子在下游方向上沿第一正交轴线(24)聚焦，由此限定带电粒子光学交叉位置(25)；光反射光学元件(50)，其位于所述透镜装置下游，并被设置成接收图像光(41)并使该光反射远离第二正交轴线(42)以提供所述表面的可观察图像。该光学元件(50)定位在交叉位置(25)处或附近，并包括贯穿其的开口(52)，从而使聚焦的粒子穿过该开口以进行下游光谱分析，且大体不会受到该光学元件的阻碍。