基板处理系统中基于智能元件的管理技术

摘要

公开了一种基板处理系统中的元件管理方法。基板处理系统具有一组元件，这组元件中的至少多个元件被指定为智能元件，多个元件中的每个元件都具有智能元件增强ICE。该方法包括查询多个元件，以从它们各自的ICE请求它们各自的唯一标识数据。该方法还包括如果多个元件中的任何一个对查询做出响应，则从多个元件接收唯一标识数据。该方法另外还包括如果当期望得到第一元件的标识数据时，多个元件中的第一元件未能提供第一元件唯一标识数据，则标记第一元件，以采取纠正措施。