一种用于扫描隧道显微镜的隧道探针及其制备方法

摘要

本发明涉及一种用于扫描隧道显微镜的隧道探针及其制备方法。本发明利用预先打孔再沉积的方法，并通过控制聚焦离子束刻蚀，电子束曝光，离子刻蚀，或反应离子刻蚀的方法的工艺参数，得到针尖直径为纳米水平、分辨率高的细小的探针。可根据实际情况，直接使用或是去掉绝缘层薄膜衬底后只保留倒圆台形孔洞里的导电材料，来作为针尖使用。本发明不会引入杂质、针尖表面不易产生碳层和氧化物层，保证了探针针尖化学组分的单一；制得的探针不局限于常规的钨丝、铂-铱丝等细金属丝，可根据需要，得到各种导电材料制得的针尖；也可以制备出单晶的隧道针尖；和常规的方法无法得到的自旋极化率为100％的半金属隧道针尖。